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中国科大在6G滤波器领域取得重要进展

  随着无线GHz以上电磁波频谱的使用国际上还存在争论,有些国家已经将6GHz全频段授权用于Wi-Fi6E,而更多的国家在考虑把此频段部分用于蜂窝无线G)。因此,源于对不同制式和频段间信号的隔离需求,工作于6GHz的高品质因数(Q值)声波谐振器以及高性能滤波器将会成为下一阶段无线通信发展的关键技术,也是我国6G技术发展必须要自主可控的基础射频元器件与芯片。

  与近10年其它的工作在类似频段的谐振器比较,该新型MEMS谐振器把Q值提升了2个数量级,并且首次突破了谐振频率与Q值乘积(f·Q)这一难以同步提升的谐振器优值极限。更重要的是,相关工作成功发现了利用三维欧拉角可以对铌酸锂薄膜介电损耗和声学损耗进行调控的新机理,为未来微纳器件在高频无线通信、医学超声成像、智能信息处理和物联网传感器等应用领域打开了更多的可能性。

  中国科学技术大学微电子学院左成杰教授为论文通讯作者,微电子学院博士生戴忠斌为论文第一作者。此项研究工作得到了国家重点研发计划和中央高校基本科研基金的资助,也得到了中国科大微电子学院、中国科大微纳研究与制造中心、中国科大先进技术研究院和中国科学院无线光电通信重点实验室的支持。

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